MEMS传感器技术是一种将微电子电路技术与微机械系统融合的技术，其操作范围在微米尺度内。这种技术使得传感器能够实现微小化、集成化、多功能化和高精度等特点。以下是关于MEMS传感器技术的一些详细介绍： 首先，从制造技术来看，MEMS传感器主要依赖于微加工技术、半导体技术和纳米技术。这些技术的应用使得传感器在微小化的同时，能够保持高度的精度和可靠性。 其次，在检测技术方面，MEMS传感器采用了多种方法，如电容检测技术、谐振检测技术和电阻检测技术等。这些技术使得传感器能够高灵敏度地感知和测量各种物理量，
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