MEMS压力传感器是一种薄膜元件,当受到压力时会发生变形。这种形变可以通过应变仪(压阻型感测)或电容感测两个面之间距离的变化来测量。这两种方法都很流行,特别是在轮胎压力监测系统中,更结实的压阻方法更受欢迎。 MEMS压力传感器是MEMS器件的重要应用领域,大致可以分为电容式、压阻式、压电式、金属应变式、光纤式等种类。这些传感器的性能随着材料和制造工艺的进步而显著提高,通过使用类似于集成电路的设计技术和制造工艺,可以实现高精度、低成本的批量生产。 此外,压力传感器作为触觉传感的核心部件,要求对外界机械
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在一辆汽车中,压力传感器是减少废气排放和降低燃油消耗的关键部件,同时也是保持乘用车舒适性驾驶的部件之一。如今,MEMS压力传感器亦在汽车传动系统压力感测应用中占得一席之地,通常用于汽车各种安全系统中,例如安全气囊和轮胎压力监测系统(TPMS)。
据IHS iSuppli公司预测,2017年汽车领域将占到MEMS压力传感器总体产业营业收入的三分之二。无线将成为压力传感器的第二大市场,仅次于汽车应用。此外,本文也有介绍压力传感器的其它重要市场还有医疗电子、工业、消费电子以及军用/民用航空。
据IHS iSuppli公司的MEMS与传感器服务,由于大量用于汽车以及快速增长的手机领域,MEMS压力传感器今年将再度强劲增长,而且将高于去年的两位数速度。
据报道,一支来自新加坡一家微电子研究所A*STAR的团队制作出一种小型的传感器,这个团队的主要目标是制造出一种可植入的微型医疗设备,现这一目标还需要依靠广泛的电路研究和测试。这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起,从而使得MEMS压力传感器可以更稳定耐用,适用于医疗器械。
日前,一支来自新加坡一家微电子研究所A*STAR的团队制作出一种小型的传感器,这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起,从而使得MEMS压力传感器可以更稳定耐用,适用于医疗器械。
随着MEMS传感器的设计和制造工艺的进步,MEMS压力传感器被广泛用于医疗、汽车和消费电子等应用领域。例如,压力传感器可用于监测血压,汽车厂商利用气压传感器优化发动机能效,提醒驾驶员轮胎气压不足。
本文论述如何在个人导航仪内利用MEMS压力传感器辅助GPS接收器测量海拔高度。本文第一部分概述大气压与海拔高度的关系。第二部分描述如何使用压力传感器计算海拔高度。第三部分介绍如何在一个个人导航仪如智能手机内集成压力传感器。