MEMS压力传感器是一种薄膜元件，当受到压力时会发生变形。这种形变可以通过应变仪（压阻型感测）或电容感测两个面之间距离的变化来测量。这两种方法都很流行，特别是在轮胎压力监测系统中，更结实的压阻方法更受欢迎。 MEMS压力传感器是MEMS器件的重要应用领域，大致可以分为电容式、压阻式、压电式、金属应变式、光纤式等种类。这些传感器的性能随着材料和制造工艺的进步而显著提高，通过使用类似于集成电路的设计技术和制造工艺，可以实现高精度、低成本的批量生产。 此外，压力传感器作为触觉传感的核心部件，要求对外界机械
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