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VTI科技公司(VTI Technologies)于10月11日发表公告称，EQT III私人投资资金已同意将VTI公司出售给日本电子元器件领先供应商村田制作所(Murata)有限公司，交易完成后VTI将成为村田制作所的全资子公司。但该公告并未说明本次收购的具体交易金额。
MEMS器件最早的批量实际应用源于汽车电子产业，但随着近年来消费电子领域的创新不断涌现，消费电子已经成为MEMS最大的应用市场，市场规模超过了15亿美元，并以每年近20%的速度增长。
