工业生产过程中常常需要对温度、压力、流量等各种工艺参数随时进行检测和监控，近年来随着对MEMS技术的深入研究和发展，高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向成为了MEMS技术的发展趋势，芯感智在深耕MEMS压力传感器基础上，2019年推出了MEMS红外传感器GZT系列，2021年又重磅推出了MEMS流量传感器GF3000/4000/5000系列。

GF3000/4000/5000 系列是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术，采用热力学原理，测流道中的气体介质流量。流量通道设计合理，压降低；提供高精度，快速响应处理电路，MEMS 集成电路+特殊的标定校准电路，具有内部温度补偿校准的数字处理电路。能准确获取精确实时有效的流量信号，保证产品的高稳定，可靠性能。

产品特点

n 高灵敏度，测量范围宽

n 内部温度补偿校准，无需外部校准

n 高精度，高分辨率

n 质量可靠，性能稳定，低成本

n 最新一代 MEMS 芯片技术

n 线性输出

n 响应时间快

n 传感器抗冷凝水

MEMS流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有良好的精度与重复性。在治病救人、工业生产、科学实验、产品质量把控、生产效率提高、能源节约等方面发挥着重要作用，被广泛应用于各行各业。

医疗领域如睡眠呼吸机，呼吸麻醉机，肺活量测试仪，IVD设备，医院供氧系统等；

汽车领域如发动机，内燃叉车，加油机，燃料电池控制等，

工业领域如工业气体过程控制和监测、液体分配和计量系统，环境气候监测，质谱仪、色谱仪（气相、液相、高效液相）和实验室各类自动化系统等；

消费领域如空气净化器，HVAC 供暖通风与空气调节等。

流量传感器模组电气特性如下，有需求，欢迎与我司市场部咨询。

GF3000产品描述：

n 热力学原理，MEMS流量芯体

n 高精度数字处理和标定电路，高灵敏度，测量微小流量

n 内部温度补偿校准，响应时间快，抗冷凝水

n 线性模拟输出, 高精度，稳定性高

n 流量测量范围：0～3000SCCM(可定制)

n 供电电压：（8～24）VDC，默认12 VDC

n 输出：模拟信号（1-5V）或IIC通讯

n 工作温度：-25℃～85℃

n 材质：PA66+GF30

n 医疗仪器和设备（呼吸机，制氧机,持续气道正压通气（CPAP）设备，麻醉分娩重症护理设备），空气净化等微小流量测量和控制。

GF4000产品描述：

n 热力学原理，MEMS流量芯体

n 高精度数字处理和标定电路，高灵敏度，测量范围宽

n 内部温度补偿校准，响应时间快，抗冷凝水

n 线性模拟输出, 高精度，稳定性高

n 流量测量范围：0～500SLM(可定制)

n 供电电压：（8～24）VDC，默认12 VDC

n 输出：模拟信号（1-5V）或IIC通讯

n 工作温度：-25℃～85℃

n 材质：碳化硅，环氧树脂，PPS，密封硅胶

n 医疗仪器和设备（呼吸机，制氧机,持续气道正压通气（CPAP）设备），HVAC供暖通风与空气调节以及气体测量，设备控制等

GF5000产品描述：

n 热力学原理，MEMS流量芯体

n 高精度数字处理和标定电路，高灵敏度，测量范围宽

n 内部温度补偿校准，响应时间快，抗冷凝水

n 线性模拟输出, 高精度，稳定性高

n 流量测量范围：20/50/100/150/200/300SLM(可定制)

n 供电电压：（8～24）VDC，默认12 VDC

n 输出：模拟信号（1-5V）或IIC通讯

n 工作温度：-25℃～85℃

n 材质：铝合金（不锈钢可定制）

n HVAC供暖通风与空气调节以及气体测量，设备控制，燃料电池控制，环境检测仪，质谱仪等仪器以及医疗仪器和设备等