联电65奈米制程生产有成，半导体应用业者兴趣浓
2006-09-12 15:40:12
来源：半导体器件应用网
联电宣布其在65奈米制程生产上，已有多家分别生产不同半导体应用产品的客户对于此尖端制程表达了高度的需求与兴趣。
联电表示，目前两家客户业已验证其设计，并且于联电晶圆厂内开始制造多种不同的65奈米产品；而其它8家客户，则有11项产品预定于今年夏季结束前完成设计定案(tape-out)，芯片设计公司可运用联华电子已建立的可制造性导向设计(Design for Manufacturing， DFM)解决方案，如在最近于90奈米制程世代，藉此降低导入设计时的风险及不确定性，并且获得65奈米制程技术可带来的功率与效能上的优势。
联电系统架构支持部门林子声总工程师表示，市场上对于我们65奈米制程的广大需求，象征了客户殷切期待此先进制程可赋予其产品的效能优势，以及在现今的深次微米制程世代，联电DFM解决方案于面对设计挑战时的成功。
事实上，DFM方面的顾虑自从90奈米制程世代之前就存在了，然而这个议题到最近才得到注意，并且成为讨论的焦点，联电一直持续进行DFM解决方案的扩充，以冀在对设计流程干扰最小的情况下，因应今日新的制造挑战。采用我们90奈米制程技术的客户已受惠于此方案，现在，我们很高兴能够将这项竞争优势扩展至采用我们65奈米及以下制程的客户。
除客制化的方法之外，联电的DFM解决方案还涵盖了能包含繁复制造过程的DFM兼容硅智财。联华电子也为每一个客户提供设计定案后的服务，包括光学邻近效应修正(OPC)，光学规则检验(LRC)，无作用金属填充，金属导线沟槽化…等等。
联电完整的DFM解决方案包含了微影制程检查(LPC)、关键区域分析(CAA)、光学与化学金属研磨可感应变化的抽取、热冲击分析，以及统计静态时序分析(SSTA)等，联电与所有主要的电子设计自动化厂商，以及提供特定DFM解决方案的DFM公司携手合作，建构了此一全面性的65奈米方案。
联电的65奈米制程目前正在其台湾与新加坡的12吋晶圆厂内朝量产化迈进。
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