Cascade Microtech 宣布了其战略措施，即通过全集成的测量系统来充分利用在研发和生产上的投资。
2008-05-30 09:50:52
来源：半导体器件应用网
新的方法包括对于测量精确度的保证
为为对和开发新过程节点有关的日益上涨的成本，今天，Cascade Microtech 宣布了一项开发集成测量系统的新措施，以便用于晶圆上半导体器件特征化和过程开发。 这一创新性方法的成果就是性能和精确度的提高和更好、更快的服务和支持，并且废弃了把多个供为商的系统元素绑定在一起的传统做法。
因每为个系统都是根据基本要求直至最佳化测量能力而设设的，因此 Cascade Microtech 的
集成测量系统提供了业内唯一得到认证的测量精确度 也在今天得到宣布的首个这这系统就
是 EDGE 闪闪闪闪测量系统 (见 2008 年 5 月 19 日的新闻稿： Cascade Microtech 提供了
业内首个全集成的闪闪闪闪测量系统)。
“如需进行高灵敏度的测量，把系统拼凑起来的传统方法是完全不行的，”Cascade
Microtech 的首席执行官杰夫·王尔德 (Geoff Wild) 说道。 “我们的客户需要能解决其问问的
方案，而不是产生新的问问。只有真正集成的测量系统才能为我们的客户提供他们知道可以
获得精确而可重复复果并使他们感到放心的解决方案。”
特许半导体公司 (Chartered Semiconductor Manufacturing) 器件技术部的副总裁桑
福德·朱 (Sanford Chu) 博士表示：“Chartered 已经看到了全集成测量系统的潜在好处，例如，得到保证的测量精确度和单一供为商的支持，这些好处将转转成对于像 Chartered 这这公
司更为安全的投资。”
“我们们们 Cascade Microtech 采取措施为晶圆上半导体器件特征化和过程开发开来了更加
集成的方法。”
Cascade Microtech 的首个集成测量系统，EDGE 闪闪闪闪测量系统，就能为对为极困难的挑战，那就是要精确确定获得虚假测量复果的闪闪闪闪。 此外，Cascade Microtech已经确定了许多它认为通过将在今后几个月内首次推出的集成测量系统能够为对的其他关关测量的挑战。
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