Axcelis获亚洲存储器厂薄膜固化与电荷擦除设备订单
2007-02-25 12:40:44
来源：半导体器件应用网
半导体制造设备供应商Axcelis Technologies， Inc.日前宣布自一家亚洲大型存储器芯片制造商获得了多份RapidCure FC薄膜固化和RapidCure CE电荷擦除系统的订单。订购的产品将于2007年首季度出货并安装于该存储器芯片制造商的各晶圆厂。
Axcelis公司董事会主席兼CEO Mary Puma表示，该客户的这份订单证明了Axcelis专有的紫外固化技术对下一代器件开发的价值。据悉，Axcelis的先进紫外固化产品家族RapidCure拥有微波驱动紫外光源，并搭载了数项能够为客户带来竞争优势的先进技术。
其中，RapidCure FC薄膜固化系统为提高和/或修改先进半导体介质薄膜的机械和电气属性，适用于当前包括low-k、氮化硅薄膜固化以及电荷中和在内的最先进的紫外应用领域。
RapidCure CE采用了快速而灵活的电荷擦除技术，相比传统紫外擦除设备，其去除器件中累积电荷德时间缩短了10倍，而且擦除更为彻底，从而有助于闪存等非易失性存储器芯片制造商提高产率并降低运营成本。
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