三菱电火花线切割技术加工150mm太阳能用硅晶圆
2007-02-25 12:45:23
来源：半导体器件应用网
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三菱电机日前为太阳能电池用硅开发出了电火花线切割技术，从150mm见方的太阳能电池用硅锭上切出了晶圆。利用电火花线切割技术对太阳能电池中150mm的标准晶圆进行切割“在全球尚属首次”。该公司过去曾报告过尺寸为10mm见方的切割结果。
电火花线切割技术与利用线材和研磨砂粒进行加工的现有方法相比，既不需要研磨砂粒，只需很少的切割废料就能对薄晶圆进行切割，因此有可能对硅材料进行充分利用。
作为使用线材和研磨砂粒的现有加工方法，晶圆厚度约为200微米，切割废料约为160微米，加工速度为260～400微米。利用此次的电火花线切割技术切割的晶圆厚度为200微米，切割废料为250微米，加工速度为267微米/分。
此次在150mm见方的加工过程中达到了与现有方法相同的效果，今后将继续进行开发，以便能在相同尺寸的条件下进一步实现厚度更薄、切割废料更少的加工效果。最终目标是对厚100微米的晶圆进行切割。
不仅对加工性，三菱电机还对该技术对太阳能电池特性造成的影响进行了研究。过去曾担心进行电火花加工时产生的热量有可能对晶圆产生不利影响。此次利用电火花线切割技术切出的
晶圆试制出了太阳能电池单元，并且证实能够得到和旧式单元相同的光电转换效率（15.2%）。
电火花线切割技术与利用线材和研磨砂粒进行加工的现有方法相比，既不需要研磨砂粒，只需很少的切割废料就能对薄晶圆进行切割，因此有可能对硅材料进行充分利用。
作为使用线材和研磨砂粒的现有加工方法，晶圆厚度约为200微米，切割废料约为160微米，加工速度为260～400微米。利用此次的电火花线切割技术切割的晶圆厚度为200微米，切割废料为250微米，加工速度为267微米/分。
此次在150mm见方的加工过程中达到了与现有方法相同的效果，今后将继续进行开发，以便能在相同尺寸的条件下进一步实现厚度更薄、切割废料更少的加工效果。最终目标是对厚100微米的晶圆进行切割。
不仅对加工性，三菱电机还对该技术对太阳能电池特性造成的影响进行了研究。过去曾担心进行电火花加工时产生的热量有可能对晶圆产生不利影响。此次利用电火花线切割技术切出的
晶圆试制出了太阳能电池单元，并且证实能够得到和旧式单元相同的光电转换效率（15.2%）。
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