东曹改进透明电极用掺铝氧化锌 面向太阳能电池和FPD
2007-11-07 09:26:26
来源：半导体器件应用网
东曹（Tosoh） 在“FPD International 2007”上展示了面向太阳能电池和FPD的透明电极用掺铝氧化锌靶材。掺铝氧化锌在价格上比氧化铟锡（ITO）便宜，不过耐热性和耐湿性等较差。此次东曹表示“虽然目前不便公布详细内容，但是通过自主技术耐热性和耐湿性均得到提高，达到了与ITO同等的水平”。
由于长波长光的透射率比ITO高，因此能够有效提高太阳能电池的转换效率。不过还有待解决电阻率高达ITO的2.5～3倍的问题。展示的靶材尺寸约为250mm×500mm。东曹表示还能制造尺寸更大的靶材。
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