KLA-TENCOR新型P-6表面轮廓仪满足太阳能测量需求
2008-09-05 16:29:26
来源：KLA-Tencor公司
KLA-Tencor公司日前发布其最新的探针式表面轮廓测量系统P-6，该系统针对科学研究与生产环境(例如，光电太阳能电池制造)提供一组独特的先进功能组合。P-6系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术，但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计，可接受最大至 150毫米的样本。
KLA-Tencor的成长与新兴市场集团副总裁Jeff Donnelly表示：“我们对P-6探针系统的推出感到振奋，该系统将为科学与太阳能客户提供在应用方面的最佳功能组合。对于太阳能市场，P-6拥有在开发阶段提高太阳能电池效率，以及监控生产制程质量所需的分辨率、扫描质量和自动控制能力。”
融合KLA-Tencor的自动化P-16+探针式轮廓仪的众多功能，P-6探针式轮廓仪充分承袭了最佳技术与效能的传统：
低噪声基底可改善表征微小表面特征的测量灵敏度
小于6埃的步进高度可重复性，确保了严苛的制程控制
150毫米X-Y样本载台可实现覆盖整个基底的单一测量
2D应力测量与分析可将缺陷降至最低并提升良率
功能强大且容易使用的分析软件，提供高阶应用的灵活性
P-6轮廓仪已通过主要太阳能产品制造商BP Solar的合格认证。BP Solar技术副总裁Eric Daniels表示：“我们对KLA-Tencor的P-6系统的评估证明，它对于多种表面测量应用系统的一系列制程条件具有高灵敏性，其中包括ARC薄膜、导线触点及前表面纹理结构。对于支持我们的技术开发与生产改善，P6将发挥重要价值。”
P-6系统将于2008年7月15至17日在旧金山举办的InterSolar北美展会第9252号KLA-Tencor展台上展出。
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