东芝展示16GB的microSDHC内存卡，层叠18μm厚的16枚NAND芯片
2008-10-06 10:32:23
来源：日经BP社
东芝在“CEATEC JAPAN 2008”上展出了业界最大容量的16GB microSDHC存储卡试制品。“该产品为试制品，目前还没有量产”。包括该公司在内，目前能够投产的microSDHC存储卡的最大容量为8GB。为实现16GB容量，此次，在卡内层叠了16枚8Gbit NAND闪存芯片、1枚控制器芯片，合计17枚芯片。
microSDHC存储卡是在不采用外壳的情况下，直接封装芯片。另外，需要将外形尺寸的最薄部位减至0.7mm。为在这一尺寸上内置层叠17枚芯片，东芝将内置NAND闪存的芯片厚度减小到了18μm。原来采用的是厚度约60μm～70μm的芯片。
要利用厚度18μm的芯片，需要新开发晶圆搬运方法、贴在薄型化晶圆上的薄膜以及切割后的挑选方法等。
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