摘要：  为保护被测器件(DUT)在测试过程中不被损坏，2200系列可以设置电压极值以防电源输出过高电压，以及设置过压功能在达到过压极限时输出低于1V。这些极值还包括电流极限设置功能以控制流入DUT的电流幅度。另外，可编程定时器能在指定时间内隔内关闭输出，所以可将测试预先设置为无人模式，在一段持续时间内不必担心DUT电压或功率过大。

关键字：  半导体设备制造，  电子产品，  测试应用程序

自20年前SMU(源测量单元)面世以来，SMU已经演变成一个多用途的仪器类别。人们经常要求SMU解决在半导体设备制造、电子产品生产验证、新型先进材料的生产和开发、以及几乎所有电子设备的测试应用程序中遇到的大量测试难题。

日前，吉时利仪器公司(Keithley)发布了专为低电压测试而优化的低成本方案：2400系列数字源表。与所有吉时利SMU仪器一样，新推出的2401型数字源表对光伏电池、高亮度LED、低压材料和半导体器件的电流与电压(I-V)特性分析、电阻测量等高精度测试应用进行了优化。

Keithley公司市场总监Mark Cejer表示，2401的出现为那些采用分立可编程电源和数字万用表或应用软件配置的测试系统提供了经济的替代方案。“在这些分立配置中，可编程电源的精度、信号范围或分辨率都不理想。”Mark Cejer说，“但更重要的是，2401将以‘前所未有的低价’在20V和1A信号幅度上提供源和测量单元的先进功能。”

2401在一个机壳中集成了高度稳定的直流电源和真仪器级5位半或6位半万用表，在1A/20V量程范围内，其操作和编程与2400系列的其它产品完全相同。使用时，2401可用作电压源、电流源、电压表、电流表和欧姆表，并提供4象限双极和自动源/阱操作(工作在1/3象限时作为源，向负载提供功率;工作在2/4象限时作为阱，消耗外部源的功率)。

但同时，为了补充用于组件、模块、器件特性分析和测试应用的电源产品线及源测量仪器组，Keithley还同步推出了2200系列可编程通用电源产品线，功率范围86W-150W，最大输出电压20V-72V，其电压输出准确度为0.03%，电流输出准确度为0.05%。

Mark Cejer认为，2200系列的高输出(1mV)和测量(0.1mA)分辨率特性，使其非常适于测量空闲模式和休眠模式电流等应用的低功率电路和器件的特性分析，以确保器件满足当今更具挑战性的能源效率目标。其背板的远程感测端子和低于5mVp-p的噪声能保证设置电压等于电源实际输出的电压;双线路显示器能显示设置值和实际输出值，以便连续指示传至负载的功率状态。

2200系列的每个型号产品均提供40个板上存储位置用于保存经常使用的测试设置，以便后来调用和重用。此外，内建的目录模式功能支持设置和存储7种定制测试序列里最多80个步骤。序列保存以后，可以使用仪器的前面板密钥手动触发运行，通过外部触发器自动运行，或通过可编程接口指令运行，而同类通用电源没有此功能。

为保护被测器件(DUT)在测试过程中不被损坏，2200系列可以设置电压极值以防电源输出过高电压，以及设置过压功能在达到过压极限时输出低于1V。这些极值还包括电流极限设置功能以控制流入DUT的电流幅度。另外，可编程定时器能在指定时间内隔内关闭输出，所以可将测试预先设置为无人模式，在一段持续时间内不必担心DUT电压或功率过大。

此外，2200系列还提供了调节电源电压和电流设置的多种方法，包括前面板的直接输入数字键盘、可调节步长的旋钮等，大大简化了DUT对电压或电流变化的响应。同时，2200系列还可以通过标准GPIB或USB接口进行控制。USB接口兼容测试和测量类(TMC)，所以用户能利用标准SCPI命令语法，还包括标准仪器驱动程序简化电源到自动测试环境的集成。