摘要：  IHS iSuppli 估计，在 2013年，MEMS传感器与致动器(actuator)市场规模可达到90.9亿美元，较2012年的84.1亿美元增长8.1%；该市场在 2012年增长了6.1%。该机构并预期接下来两年，MEMS传感器与致动器市场仍将以两位数字增长率持续扩张，到2017年可达122亿美元，较2011年增长50%。

关键字：  意法半导体，MEMS器件，传感器

IHS iSuppli 估计，在 2013年，MEMS传感器与致动器(actuator)市场规模可达到90.9亿美元，较2012年的84.1亿美元增长8.1%；该市场在 2012年增长了6.1%。该机构并预期接下来两年，MEMS传感器与致动器市场仍将以两位数字增长率持续扩张，到2017年可达122亿美元，较2011年增长50%。

意法半导体(ST)是全球首家MEMS销售额达到10亿美元的企业。2012年，由于便携终端市场上MEMS需求扩大，意法半导体的MEMS产品出 货量比上年增长了58%。在2012年，该公司的核心MEMS产品——加速度传感器和陀螺仪传感器的平均价格降低了20～30%。

市场调研公司Yole Developpement的惯性MEMS器件与技术分析师Laurent Robin指出：“在大量需求产生时，该公司已做好了启动200mm(8英寸)晶圆工厂的准备。并且，还拥有丰富的产品和超低价格。他们只要启动工厂就能 量产，并且还向大量购买产品的手机制造商开出了令其满意的低价格”。

意法半导体执行副总裁兼模拟MEMS与传感器部门总经理Benedetto Vigna表示：“感谢Yole Developpement对我们的销售额上到一个大台阶进行认定，也感谢各个应用领域和各个部门的客户对我们‘要成为值得信赖的一站式MEMS供应商’ 这一战略的支持。今后，我们将继续全力以赴满足客户需求，为丰富人们的生活而增加传感器的功能”。

还将积极借助其他公司的力量，缩短产品上市周期

MEMS产业在大量生产的大众智能手机业务中发生变化，对于大型IDM(integrated device manufacturer：垂直整合型器件制造商)来说是一件好事。因为如果大型IDM能够增加产量、大胆降低价格，就能以一己之力为客户提供多种产品， 简化供应链。大型IDM之一——博世凭借惯性传感器业务使MEMS业务增长了14%，销售额正在逼近在业内长期领先的德州仪器。这些企业使业界头把交椅的 竞争变得激烈，厂商座次不断更迭。Yole将于2013年4月上旬公布MEMS行业前30家企业的名单。

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意法半导体现在每天大约生产400万个MEMS器件。该公司不仅提供惯性传感器，还提供消费类电子产品使用的压力传感器、麦克风及电子罗 盘。该公司是一家完全垂直整合型供应商，在降低成本的过程中优化了所有环节，包括惯性传感器使用的高完成度标准生产工艺、独特的ASIC设计、所有产品通 用的LGA封装技术、与意大利SPEA公司合作开发的可大量处理的并行检查，以及能以生产线为单位销售智能手机用传感器的营销队伍等。

意法半导体一直在推进能实现芯片尺寸小型化的制造技术，例如用细铜引线框架代替了玻璃粉，以及用更小的TSV代替了尺寸大的焊盘。小型 TSV采用在多晶硅通孔周围蚀刻以形成气隙的方法制成。意法半导体决定通过与其他公司合作(由欧姆龙提供麦克风技术)和从其他公司采购(从霍尼韦尔采购磁 力传感器)，来尽快推出新产品。

ST公司副总裁及模拟、MEMS和传感事业部总经理Benedetto Vigna表示，在ST的MEMS传感器上市之前，MEMS传感器仅能应用在汽车等少数领域，因为它尺寸大、功耗高且昂贵，是ST掀起了MEMS消费电子化浪潮。第一波浪潮是MEMS加速度计、陀螺仪、磁力计在消费类电子(笔记本电脑、相机、手机、平板电脑、游戏机等)直观用户界面的应用，现在正在深入的第二波浪潮则包括一些更深层次的复杂应用，如室内导航、健身护理、增强实境等，这些应用需要多种技术协同工作并采用复杂的融合算法。

意法半导体的主打产品是陀螺仪传感器。尽管2012年陀螺仪传感器的价格在业内平均下滑了30%，但据Yole推算，该公司陀螺仪传感器的 销售额比上年增长了10%，达到约3.8亿美元。意法半导体在加速度传感器方面一直保持行业领先，创下了2.8亿美元的销售纪录，销量也保持顺利增长。

不过，由于加速度传感器的价格平均下滑了20～25%，销售额增长有限。另外，该公司推出的配备加速度传感器和陀螺仪传感器的6轴IMU(inertial measurement unit：惯性测量装置)、配备加速度传感器和磁场传感器的电子罗盘、MEMS麦克风以及消费类电子产品使用的压力传感器等新产品的销售额也实现了增长。