硅基CMOS技术是一种集成电路制造技术，它基于硅材料，采用CMOS（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）晶体管作为基本的电路元件。 CMOS晶体管是一种利用金属-氧化物-半导体（MOS）结构制成的器件，它由一个源极、一个漏极和一个栅极组成。在CMOS技术中，源极和漏极是由金属材料制成，而栅极则是由氧化物材料制成。
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