MEMS传感器，全称为Micro Electromechanical System，即微机电系统。它是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。 MEMS传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号，而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此被形象地称为智能传感器。
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