MEMS传感器,全称为Micro Electromechanical System,即微机电系统。它是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器,具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高,适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。 MEMS传感器不仅能够感知被测参数,将其转换成方便度量的信号,而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断,因此被形象地称为智能传感器。
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根据YoleDeveloppement的研究报告指出,2012年全球智慧型手机与平板电脑用MEMS感测器市场产值为22亿美元,预计在2013年达到27亿美元,且自2013至2018年间,全球MEMS感测器市场将以18.5%的年复合成长率成长,2018年时可望达到64亿美元的市场规模。
半导体技术正推动医疗保健产业变革。在半导体业者的努力下,MEMS感测器和致动器、低功耗微控制器,以及无线收发器的效能不断提升,且功耗大幅降低,因而有助电子产品制造商为可携式医疗电子设备增添智慧化功能,从而加速行动医疗及远距照护发展。
MEMS感测器和致动器、低功耗微控制器以及无线收发器的能效不断提升,且功耗大幅降低,不断促进医疗电子走向智能化,加速便携式医疗电子设备的发展。
从2013至2018年间,全球MEMS感测器市场将以18.5%的年复合成长率(CAGR)成长,2018年时可望达到64亿美元的市场规模。