MEMS 是微机电系统（Micro - Electro - Mechanical Systems）的英文缩写，它是一种将微机械结构、微传感器、微执行器和微电子器件等集成在一个芯片上的技术。这些微小的器件和结构尺寸通常在微米到毫米量级，利用微加工技术（如光刻、蚀刻、薄膜沉积等）制造，能够感知和控制物理量，如机械运动、压力、加速度、磁场、温度等。 工作原理 感知物理量：以微加速度计为例，它基于牛顿第二定律来感知加速度。当有加速度作用时，微加速度计中的质量块会受到惯性力，通过检测质量块的位移（通常利用电容、压
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