摘要：  业界领先的良率导向设计技术供应商和半导体器件模型解决方案的全球领导厂商概伦电子科技有限公司(ProPlus Electronics Co.， Ltd.， 下称概伦电子)近日宣布推出新一代低频1/f噪声测试系统9812D。

关键字：  噪声测试系统，半导体工艺，

新一代的9812D噪声测试系统沿用了业界1/f噪声测试黄金标准的9812B的系统架构，通过全新的硬件设计可在1Hz-10MHZ频率范围内进行最精准的1/f噪声和RTS噪声测试。9812D采用全新集成的动态信号分析仪(DSA)用于提升测试的效率，改进测试的数据质量，并且可以大大降低系统整合的成本。

“1/f噪声是评估半导体工艺的质量和影响电路性能的关键因素。”概伦电子董事长兼总裁刘志宏博士表示，“9812B在过去的10余年间已经成为全球半导体行业低频1/f噪声测试系统的标准产品。为应对28纳米及以下工艺节点的新挑战，我们和业界领先的半导体制造公司合作，在9812B的基础上潜心研究并取得了重大突破，并推出新一代的低频1/f 噪声测试系统9812D。我们相信，9812D将迅速成为行业内低频1/f噪声测试的新标准。”

9812D专为先进的半导体制造和器件研究而设计，可通过1/f噪声测试对制造工艺进行7*24的实时质量监控。全新的软硬件设计使得9812D可以提供同类最快的噪声测试速度，与9812B/NoisePro相比，其测试和数据处理的速度提升了3-10倍，因而可以更快地获取数据，更早地发现工艺流程中潜在的问题，进而降低由于工艺质量的不稳定所造成的经济损失的风险。通过集成高性能动态信号分析仪，噪声测试将无需昂贵的外部信号处理设备，不仅减少了前期投资，也降低了系统集成和安装的风险和耗时，从而大大增加了投资回报。

9812D精确可靠的片上噪声测试能力可以提供最高10MHz下真正的1/f噪声，从而使得电路设计师有可能评估更高频率下的1/f噪声数据。同时，电路设计师们开始关注先进工艺节点下的工艺漂移特性，就需要测试大量的噪声数据用于生成低频噪声的统计模型，因而对低频噪声测试提出了更高的挑战。9812D采用特别的软硬件设计可以进行快速、准确的噪声信号测试、数据采集和分析，在1Hz-10MHz的频率范围内实现精准的噪声测试用于统计模型的建立。

关于9812D

9812D低频1/f噪声测试系统用于测量1Hz-10MHz范围内硅片上或者封装后的半导体器件的低频噪声特性，可支持不同的器件种类，包括：MOSFETs、BJTs、JFETs、二极管和电阻等。除了进行频域的噪声测量，9812D还可以进行时域的噪声测量并支持1/f噪声和RTS噪声的自动测试。

新的测试系统沿用了9812B的系统架构，而9812B在过去的十多年已通过了上百家客户不同类型的技术验证，包括最先进的工艺节点如28纳米的工艺。同时，9812D可以提供真正的10MHz范围的噪声测试且没有衰减(roll off)，与之相比较，其他的测试系统尽管也提供MHz的测试频段，但往往在较低的频率如100KHz下即出现明显的衰减，从而造成较高频率下测试结果的无效性。

9812D在业界首次真正集成高性能动态信号分析仪，结合全新的NoiseProPlus后其噪声测试性能可以比9812B/NoisePro提升3-10倍，从而可以满足大量统计特性的噪声测试和数据分析，以及7*24的实时工艺质量监控。

9812D提供业界最宽的电压和电流测试范围，其测试系统可以承受来自测试仪器中SMU的最高100V的电压，可用于高压半导体器件的噪声测试，同时也可以精确地处理极低的电流，进行如弱反型条件下的MOSFETs的噪声测试。

9812D和9812B是业界仅有的同时内置多个电压和电流低噪声前置放大器的测试系统，而其他的测试系统仅内置单一的电压低噪声放大器。针对低阻抗的待测器件如BJT、IC电阻和二极管，以及高抗阻的待测器件如弱反型条件下的MOSFET和JFETs，9812D可以采用不同的低噪声放大器以确保针对不同的器件和测试条件都可以达到最高的测试精度。

配合9812D，全新的NoiseProPlus软件用于对噪声测试系统及其相关测试仪器进行控制并进行数据的采集和处理。与现有的NoisePro软件相比，NoiseProPlus具有更好的可用性，安装也更加简单、便捷，并可以控制半自动硅片探针台，对multi-die， multi-device以及multi-type的噪声测试和数据采集进行并行处理，从而大大提升系统的整体性能。