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东芝四日市工厂NAND闪存第4车间动工建设

2006-09-20 14:39:28 来源:半导体器件应用网

    东芝在其内存生产基地四日市工厂(三重县四日市市),开始建设支持300mm晶圆的NAND型闪存的新车间(以下称为第4车间)。预计在2006年和2007年的2年内,东芝将向第4车间投资约3000亿日元。  

    第4车间预定在2007年7月建成。东芝计划从2007财年三季度(07年10月~12月),以换算成晶圆的2500枚/月的规模开始量产NAND型闪存,到2008财年三季度(08年10月~12月)将规模扩大到6万7500枚/月。制造工艺方面,最初将采用56nm级工艺,然后逐步导入新一代工艺。  
  
    车间的建设由东芝负责,制造设备则由东芝与美国SanDisk合资的Flash Alliance(三重县四日市市)负责引进。所用晶圆计划均等地从东芝和SanDisk采购。  
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