晶龙晶体生长设备列入国家高技术产业发展项目
2007-02-07 10:58:02
来源：半导体器件应用网
中国高新技术产业导报消息，近日，晶龙集团阳光半导体设备有限公司生产的CZ-80A晶体生长设备被国家发改委列入国家高技术产业发展项目计划及国家资金补助计划，获得国家补助资金450万元及河北省配套资金80万元。
据介绍，CZ-80A型晶体生长设备是该公司自主研发设计生产的。该公司结合宁晋半导体材料基地10年来生产单晶的经验，吸取了国外先进炉型的优点，经过数万次的晶体控制实践，对该设备各项技术设计都进行了实际生产验证，并于2006年3月通过了河北省科技厅组织的专家鉴定。该设备符合稳定、连续、高效等要求，具有高效、节能、环保、自动化等优点，荣获河北省科技成果奖，并被认定为高新技术产品。目前，该设备已开始批量生产。
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