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MEMS代工不但包含光刻、刻蚀、TSV等，还包含中试代工生产。MEMS代工中试服务平台的应用，意味着我国MEMS中试品将有坚强的后盾。硅基MEMS代工中试服务平台，符合我国、省市产业政策和支持方向。
