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随着市场对混合动力/电动车的需求不断增加，晶片产业对功率电子元件市场的期望也越来越高;市场研究机构 IHS 指出，来自电源供应器、太阳光电逆变器(PV)以及工业马达驱动器等的需求，预期可在接下来十年让新兴的碳化矽(SiC)、氮化镓(GaN)功率半导体市场以每年两位数字的成长率，达到目前的十八倍。
在863计划中，蓝宝石基板发展主要锁定蓝宝石基板蚀刻、量产技术，及磊晶用关键原材料等范围;矽基板方面，则以生长4寸(含)以上大尺寸蓝光与绿光磊晶技术，及高功率矽基板型LED晶粒量产、封装技术为主;碳化矽基板技术方面，除长晶、加工技术外，亦以使用碳化矽基板发展高发光效率白光LED磊晶、晶粒技术为目标。
